1 | Maks.arbeidstrykk 20,6 Mpa. |
2 | Maks.arbeidstemperatur 204 ℃ (Høytemperaturmiljø opp til 454 ℃, på dette tidspunktet erstattes tetningsmaterialet med ekspandert grafitt) |
3 | Filtersystem Partikkelforurensninger, gasser, væsker er aktuelle. |
4 | Rustfritt stål pulvermetallurgi sintret filterfilternøyaktighet 2μm~40μm |
5 | Filterstrøm 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Filter kan endres. |
Produktfunksjoner til Filter
1 | Bredt bruksområde, strømningsområde fra 15 til 300SL / min. |
2 | Den har god kompatibilitet med de fleste høyrente halvlederprosessgasser. |
3 | 3 nanopartikkelfiltreringskapasitet opprettholder høy strømningseffektivitet og ultra lite trykkfall. |
4 | 5Ra elektropolert overflate kan forhindre intern forurensning. |
5 | Stek med varmt nitrogen etter avionisert vann for å møte standarder for halvlederprosesser. |
6 | 1000 nivå støvfritt aseptisk verksted produksjon, rengjøring og emballasje miljø. |
7 | Test for 100 % heliumlekkasje. |
Innløp | Uttak | |
1 | 1/8" rørkobling | 1/8" rørkobling |
2 | 1/4" rørkobling | 1/4" rørkobling |
3 | 3/8" rørkobling | 3/8" rørkobling |
4 | 1/2" rørkobling | 1/2" rørkobling |
5 | 6MM rørkobling | 6MM rørkobling |
6 | 8MM rørkobling | 8MM rørkobling |
7 | 10MM rørkobling | 10MM rørkobling |
8 | 12MM rørkobling | 12MM rørkobling |
9 | 1/8″ kvinnelig NPT | 1/8″ kvinnelig NPT |
10 | 1/4″ kvinnelig NPT | 1/4″ kvinnelig NPT |
11 | 1/4" mannlig NPT | 1/4" mannlig NPT |
12 | 3/8" mannlig NPT | 3/8" mannlig NPT |
13 | 1/2" mannlig NPT | 1/2" mannlig NPT |
Produktytelsesparametre for filter
1 | Filtreringsnøyaktighet | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtreringseffektivitet | Fjerningsrate99,99999 %≥0,0025μm | |
3 | Vurdert flyt | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Filtersammensetning | filterelement | 316L/PTFE |
9 | bolig | rustfritt stål 316L | |
10 | Arbeidsforhold | Maksimalt innløpstrykk | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maksimalt differansetrykk | 15Mpa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maksimal driftstemperatur | 430 ℃ (inert gass) | |
13 | Helium lekkasjehastighet | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Overflatefinish | ≤Ra 5μin |