Teknologiløsninger for leveringssystemer med høy renhet for halvlederprosesser

Teknologi med høy renhetsgass er en viktig del av gassforsyningssystemet med høy renhet, som er nøkkelteknologien for å levere den nødvendige gassen med høy renhet til brukspunktet og fremdeles opprettholde den kvalifiserte kvaliteten; Teknologi med høy renhetsgass inkluderer riktig utforming av systemet, valg av beslag og tilbehør, konstruksjon og installasjon og testing. De siste årene har de stadig strengere kravene til renhet og urenhetsinnholdet i gasser med høy renhet i produksjonen av mikroelektronikkprodukter representert av storskala integrerte kretsløp gjort rørteknologien til gasser med høy renhet som blir stadig mer bekymret og vektlagt. Følgende er en kort oversikt over gassrør med høy renhet fra materialvalgof Bygging, samt aksept og daglig ledelse.

Typer vanlige gasser

Klassifisering av vanlige gasser i elektronikkindustrien：

Vanlige gasser（Bulkgass）: hydrogen (h₂₎, nitrogen (n₂), oksygen (o₂), Argon (a₂) osv.

Spesialgasserer sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,POCL_3, Sih2cl₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,Clf₃ ,Co,C₂F_6, N2o,F_2,Hf,HBR SF₆…… etc.

Typene spesielle gasser kan generelt klassifiseres som etsendegass, giftiggass, brennbargass, brennbargass, inertgassosv. De ofte brukte halvledergassene er generelt klassifisert som følger.

(i) etsende / giftiggass: HCl, BF₃, WF₆, HBR, sih₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃... osv.

(ii) Brennbarhetgass: H₂, Kap₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, Sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,Ch₃F, co ... osv.

(iii) Brennbarhetgass: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃... etc.

(iv) inertgass: N₂, Jfr₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, Ne, kr, han… osv.

Mange halvledergasser er skadelige for menneskekroppen. Spesielt noen av disse gassene, for eksempel SIH₄ Spontan forbrenning, så lenge en lekkasje vil reagere voldsomt med oksygenet i luften og begynne å brenne; og aske₃Svært giftig, enhver liten lekkasje kan forårsake risikoen for menneskeliv, det er på grunn av disse åpenbare farene, så kravene til sikkerheten til systemdesign er spesielt høye.

Bruksomfang av gasser  

Som en viktig grunnleggende råstoff i moderne industri blir gassprodukter mye brukt, og et stort antall vanlige gasser eller spesielle gasser brukes i metallurgi, stål, petroleum, kjemisk industri, maskineri, elektronikk, glass, keramikk, byggematerialer, konstruksjon, matprosessering, medisin og medisinske sektorer. Anvendelsen av gass har en viktig innvirkning på den høye teknologien til disse feltene spesielt, og er dens uunnværlige råstoffgass eller prosessgass. Bare med behov og promotering av forskjellige nye industrisektorer og moderne vitenskap og teknologi, kan gassindustriproduktene utvikles med store sprang når det gjelder variasjon, kvalitet og mengde.

Gassanvendelse i mikroelektronikk og halvlederindustri

Bruken av gass har alltid spilt en viktig rolle i halvlederprosessen, spesielt halvlederprosessen har blitt mye brukt i forskjellige bransjer, fra den tradisjonelle ULSI, TFT-LCD til den nåværende mikroelektro-mekaniske (MEMS) industrien, som alle bruker den såkalte halvlederprosessen som produksjonsprosessen. Gassens renhet har en avgjørende innvirkning på ytelsen til komponenter og produktutbytte, og sikkerheten til gassforsyningen er relatert til personellets helse og sikkerheten til planteoperasjoner.

Betydningen av rør med høy renhet i gasstransport med høy renhet

I prosessen med smelting av rustfritt stål og å lage materiale, kan omtrent 200 g gass tas opp per tonn. Etter behandlingen av rustfritt stål absorberte ikke bare overflaten klistret med forskjellige forurensninger, men også i metallgitteret en viss mengde gass. Når det er luftstrøm gjennom rørledningen, absorberer metallet denne delen av gassen igjen i luftstrømmen og forurenser den rene gassen. Når luftstrømmen i røret er diskontinuerlig strømning, adsorberer røret gassen under trykk, og når luftstrømmen slutter å passere, danner gassen adsorbert av røret et trykkfall for å løse, og den løste gassen kommer også inn i den rene gassen i røret som urenheter. Samtidig gjentas adsorpsjonen og oppløsningen, slik at metallet på den indre overflaten av røret også produserer en viss mengde pulver, og denne metallstøvpartiklene forurenser også den rene gassen inne i røret. Denne egenskapen til røret er avgjørende for å sikre renheten til den transporterte gassen, som ikke bare krever en veldig høy glatthet av den indre overflaten av røret, men også en høy slitestyrke.

Når gassen med sterk etsende ytelse brukes, må korrosjonsbestandige rustfrie stålrør brukes til rør. Ellers vil røret produsere korrosjonsflekker på den indre overflaten på grunn av korrosjon, og i alvorlige tilfeller vil det være et stort område med metallstripping eller til og med perforering, noe som vil forurense den rene gassen som skal distribueres.

Tilkoblingen mellom høye renheter og gassoverføring og distribusjonsrørledninger med store strømningshastigheter.

I prinsippet er alle sveiset, og rørene som brukes er ikke pålagt å ha noen endring i organisasjonen når sveising brukes. Materialer med for høyt karboninnhold er utsatt for luftpermeabiliteten til de sveisede delene når de sveiser, noe som gjør gjensidig penetrering av gasser i og utenfor røret og ødelegger renhet, tørrhet og renslighet av den overførte gassen, noe som resulterer i tapet av all vår innsats.

Oppsummert, for høye renhetsgass og spesiell gassoverføringsledning, er det nødvendig å bruke en spesiell behandling av rør med høy rustfritt stål, for å lage rørledningssystem med høy renhet (inkludert rør, beslag, ventiler, VMB, VMP) i høye renhetsgassfordeling okkuperer et viktig oppdrag.

Generelt konsept for ren teknologi for overføring og distribusjonsrørledninger

Svært ren og ren gass kroppsoverføring med rør betyr at det er visse krav eller kontroller for tre aspekter av gassen som skal transporteres.

Gassens renhet: Innholdet av urenhetsatmosfære i GGAS -renhet: innholdet av urenhetsatmosfære i gassen, vanligvis uttrykt som en prosentandel av gassens renhet, for eksempel 99.9999%, også uttrykt som volumforholdet mellom urenhetsatmosfæreinnhold ppm, ppb, ppt.

Tørrhet: Mengden sporfuktighet i gassen, eller mengden som kalles fuktighet, vanligvis uttrykt i form av duggpunkt, for eksempel atmosfæretrykk duggpunkt -70. C.

Renslighet: Antall forurensningspartikler som er inneholdt i gassen, partikkelstørrelse på um, hvor mange partikler/m3 å uttrykke, for trykkluft, vanligvis også uttrykt i form av hvor mange mg/m3 av uunngåelige faste rester, som dekker oljeinnholdet.

Forurensningsstørrelsesklassifisering: Forurensende partikler refererer hovedsakelig til spuring av rørledninger, slitasje, korrosjon generert av metallpartikler, atmosfæriske sotpartikler, så vel som mikroorganismer, fager og fuktighetsholdig gasskondensasjonsdråper osv

a) Store partikler - partikkelstørrelse over 5μm

b) partikkel-materialdiameter mellom 0,1μm-5μm

C) Ultra-mikropartikler-partikkelstørrelse mindre enn 0,1μm.

For å forbedre anvendelsen av denne teknologien, for å kunne perseptuell forståelse av partikkelstørrelse og μm enheter, er det gitt et sett med spesifikk partikkelstatus for referanse

Følgende er en sammenligning av spesifikke partikler