Produksjonsprosessen med elektroniske spesialitetsgasser inkluderer flere prosesser som syntese, rensing, fylling, analyse og testing, blanding og proporsjonering. For å oppfylle kravene nedstrøms halvlederproduksjon for renhet og urenhetsinnhold, er rensingsprosessen veldig viktig. Avhengig av sammensetningen av oppstrøms syntesegass eller rågass, utføres destillasjon med lav temperatur eller flertrinnsrensing.
Krav med høy renslighet
Forberedelsesprosessen med elektroniske spesielle gasser kan deles inn i to hovedblokker av oppstrøms syntese preparat og rensing, som tilhører den kjemiske produksjonsprosessen. Størrelsen på produksjonsrørledningen er stor, og det er ikke noe spesielt krav om renslighetsnivå. Etter nedstrøms rensing er produktet fylt med gass og blandet for tilberedning. Produksjonsrørledningen er liten og har krav til renslighetsnivå. Det må oppfylle standardspesifikasjonen for halvlederproduksjonsprosessen.
Krav med høy forsegling
På grunn av deres kjemiske aktivitet stiller elektroniske spesialitetsgasser også høye krav til materialer og forsegling av produksjonsprosesssystemet. Akkurat som kravene til halvlederproduksjon, forhindrer det grensesnittlekkasje forårsaket av innføring av urenheter eller korrosjon av spesielle gasser. Systemet kan også brukes til å forhindre innføring av urenheter eller lekkasje av grensesnitt forårsaket av korrosjon av spesielle gasser.
Stabilitetskrav av høy kvalitet
Kvaliteten på elektroniske spesialitetsgasser inkluderer en rekke indikatorer som renhet og urenhetspartikkelinnhold. Enhver endring i indikatorene vil påvirke resultatene fra nedstrøms halvlederproduksjonsprosess. Derfor, for å sikre konsistensen av de elektroniske spesielle gassproduktindikatorene, er preparasjonsprosesssystemet for å kontrollere stabiliteten til indikatorene også veldig viktig.
På grunn av den kjemiske aktiviteten og kvalitetskravene til EGP, må produksjonssystemet for EGP -preparat, spesielt nedstrøms rensingssystem, oppfylle kravene til høye renhetsmaterialer, høy forsegling, høy renslighet og konsistens av høy kvalitet, og konstruksjonen av konstruerte komponenter må oppfylle standardene for halvlederproduksjonsindustrien.
Det vi ofte omtaler som "høy renhet", er teoretisk definisjonen av renhet av et stoff, for eksempel gasser med høy renhet, kjemikalier med høy renhet, etc. Prosesssystemer eller prosesssystemkomponenter som brukes på høye renhetsstoffer, blir også referert til som høye renheter, for eksempel ventiler med høy renhet og ventiler med høy renhet. Elektroniske spesialitetsgassforberedelsessystemer krever påføring av høy renhet påføring, ventiler og andre væskekomponenter, dvs. beslag og ventiler som behandles med høye renhetsmaterialer og rene produksjonsprosesser, og er strukturert for enkel rensing og rengjøring. Med høye tetningsytelser. Disse fluidkomponentene er designet for å oppfylle prosessstrømningsveien til applikasjonen ved å bruke ingeniør- og konstruksjonskravene i halvlederindustrien.
Rør til høy renhet
VCR Metal Gasket Face Seal Connections og Automatic Guide Butt Weld Connections er mye brukt i krevende væskesystemets renhetsprosesskrav på grunn av evnen til å oppfylle både jevn overgang av strømningsbanen ved tilkoblingen, ingen stagnasjonssone og høy tetningsytelse. Repeterbar og konsistent tilkoblings- og tetningsytelse sikres hver gang den deformerte pakningen fjernes og erstattes.
Rør sveises ved hjelp av et automatisk sveisesystem for orbital. Røret er beskyttet av gass med høy renhet inne og ute. Tolframelektroden roterer langs bane for sveising av høy kvalitet. Helt automatisert orbital sveising smelter røret uten å innføre andre materialer, å oppnå en sveis av høy kvalitet ved å gjentatte ganger kontrollere tynnvegget rør er vanskelig å oppnå med manuell sveising.
VCR Metal Gasket Face Seal Connection
Automatisk orbital rumpesveiseforbindelse av rør
Ventiler med høy renhet
Den kjemiske aktiviteten til brennbare, eksplosive, etsende og giftige elektroniske spesialitetsgasser stiller høye krav til tetningen av ventilen. For å forbedre tetningens pålitelighet, er kravet til pakkeløse ventiler for å forhindre ekstern lekkasje, det vil si byttedrift av ventilstammen og ventillegemet mellom tetningen ved bruk av metallbelg eller metallmembran, for å eliminere lekkasje på grunn av slitasje og pakningsforseglingsdeformasjon. Belgeforseglede og membranforseglede ventiler brukes ofte i prosesssystemer for applikasjoner med høy renhet på grunn av den større påliteligheten av tetningene og lettere rengjøring og rensing av ventilinternalsene.
Balows-forseglede ventiler er en pakkeløs nålventilkonstruksjon som gir mulighet for langsom åpnings- og strømningsregulering. Brukes til elektronisk spesialitetsgassfylling med sikkerhetsstrømkrav eller på forløperkildeflasker med høye sikkerhetskrav. Forseglingene med all metall stammespisser gir ekstremt lave driftstemperaturer og brukes til kryogen flytning av elektroniske spesialitetsgasser i ferdige produkttanker etter kryogen destillasjon for rør.
Fjæreløs membranforseglingsventil er en 1/4 ″ snap-åpent ventil for bruk som en automatisk kontrollert koblingsventil i leveringsrør. De brukes ofte i ultrahøytrykk, applikasjoner med høy renhet på grunn av deres enkle interne strømningsbane, lite indre volum og enkel rensing og erstatning.
Membranforseglede ventiler som lukkes via stammespissen kan åpne sakte og brukes ved høyere driftstrykk enn ikke-spredte membranforseglede ventiler. De er mye brukt på høytrykks elektronisk spesialitetsgassfyll eller forløperkildeflasker.
Den sekundære tetningsventilen kan ikke bare brukes i ultra -lave temperaturprosesssystemer ved -200 grader, men forhindrer også lekkasje av farlige medier i atmosfæren. Vanligvis brukt til veldig farlige elektroniske spesielle gasser, for eksempel silanfyllingssystem.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med over 10 års erfaring i tilbudet av industrielle og spesialitetsgasser, materialer, gassforsyningssystemer og gassingeniør for halvlederen, LED, DRAM, TFT-LCD-markeder, vi kan gi deg nødvendig materialer for å presse produktene dine i forkant av industrien. Vi kan ikke bare levere et bredt spekter av ventiler og beslag for halvleder elektroniske spesialitetsgasser, men vi kan også designe gassrørledninger og installasjon av utstyr for våre kunder. Hvis du har noen behov på dette området, kan du kontakte oss på 27919860.
Post Time: Jul-19-2023