Når halvledermarkedet vokser, blir standarder for renhet og nøyaktighet strengere. En av de avgjørende faktorene i kvaliteten på halvlederproduksjon er gassene som brukes i prosessen. Disse gassene spiller mange roller i produksjonsprosessen, inkludert:
Presisjonsprosesskontroll
Forebygging av forurensning
Metallurgisk eiendomsforbedring
For å utføre disse rollene effektivt, må gassforsynings- og distribusjonssystemet være effektivt. Utformingen av gasshåndteringssystemer som brukes i halvlederproduksjon, må støttes av robuste komponenter og tilpassede samlinger for å sikre pålitelig og høy kvalitetsproduksjon av halvledere.
Gasser brukt i halvlederproduksjon
Prosessen med å produsere halvledere krever bruk av forskjellige gasser i forskjellige stadier av prosessen.
Mens vanlige gasser som nitrogen, hydrogen, argon og helium kan brukes i deres rene form, kan visse prosesser kreve spesialiserte blandinger. Silaner eller siloksaner, heksafluorider, halogenider og hydrokarboner er noen av spesialitetsgassene som brukes i halvlederproduksjon. Mange av disse gassene kan være farlige eller svært reaktive, og skaper utfordringer i valg og design av komponenter for gasssystemer.
Her er noen eksempler:
\ Hydrogen og helium kan lett lekke fra rør- og monteringssystemer på grunn av deres lille atomstørrelse og vekt.
\ Silaner er svært brennbare og kan spontant forbrenne (autoignitt) i luft.
\ Nitrogen -difluorid som brukes i avsetning, etsing og rengjøring av kammeret blir en potent klimagass når den lekkes i miljøet.
\ Hydrogenfluorid (etsegass) er svært etsende for metallrør.
\ Trimetylgallium og ammoniakk kan være vanskelig å håndtere - små svingninger i sine temperatur- og trykkbehov kan påvirke avsetningsprosessen.
Å kontrollere prosessforholdene for å minimere de negative effektene av disse gassene må være en topp prioritet under systemdesign. Det er like viktig å bruke komponenter av høyeste kvalitet som AFK -membranventiler under byggeprosessen.
Adressere systemdesignutfordringer
Gasser av halvledergrad er i de fleste tilfeller av høy renhet og gir inerte forhold eller forbedrer reaksjoner i forskjellige stadier av produksjonsprosessen, for eksempel ets og avsetningsgasser. Lekkasje eller forurensning av slike gasser kan ha negative effekter. Derfor er det avgjørende for systemkomponentene som brukes til å være hermetisk forseglet og korrosjonsbestandig, samt ha en glatt overflatebehandling (elektrolytisk polering) for å sikre at det ikke er noen mulighet for forurensning og at et ekstremt høyt nivå av renslighet kan opprettholdes.
I tillegg kan noen av disse gassene oppvarmes eller avkjøles for å oppnå ønskede prosessforhold. Godtisolerte komponenter sikrer temperaturkontroll, som er kritisk for effektiv ytelse av sluttproduktet.
Fra kildeinntaket til brukspunktet, støtter AFKs brede spekter av komponenter ultrahøy renhet, temperatur, trykk og strømningskontroll som kreves i halvlederrenserom og vakuumkamre.
Designede systemer med kvalitetskomponenter i halvlederfabs
Rollen til kvalitetskomponenter og designoptimalisering er avgjørende for den nøyaktige kontrollen og sikker fremstilling av halvledere. Komponentene som brukes må være robuste og lekkasjefrie for å matche de varierende prosessforholdene som kreves i forskjellige stadier av produksjon. AFKs høykvalitetsventiler, beslag, regulatorer, rør og tetningsparetter er preget av følgende funksjoner:
Ultrahøy renhet
Lekkasjefrie seler
Temperaturkontrollert isolasjon
Trykkkontroll
Korrosjonsmotstand
Elektrolytisk poleringsbehandling
Post Time: Oct-09-2023