Bruken av gasser i halvlederindustrien stammer fra begynnelsen av 1950 -tallet til 1960 -tallet. Under produksjonsprosessen for halvleder brukes gasser hovedsakelig for å rengjøre og beskytte halvledermaterialer for å sikre deres renhet og kvalitet. Blant de mest brukte gassene er nitrogen og hydrogen.
Etter hvert som halvlederteknologi utviklet og produksjonsprosesser fortsatte å forbedre seg, økte etterspørselen etter gasser. I 1970 ble videreutvikling av halvlederproduksjonsteknologi, anvendelsen av gasser i viktige prosesser som etsing og avsetning av tynne filmer gradvis økt, og fluorgasser (f.eks. SF6) og oksygen ble ofte brukt etsning og avsetningsgasser. 1980 fikk en ytterligere økning i etterspørselen etter gasser med utvikling av integrerte kretsløp og økningen i etterspørselen etter dem. Hydrogen ble mye brukt i produksjonsprosessen, inkludert hydrogenglødning og avsetning av hydrogendamp. Og fra 1990 til i dag har etterspørselen etter gasser med høy renhet og spesifikke gasser økt etter hvert som halvlederenhetsstørrelser har fortsatt å krympe og nye prosesser er introdusert. For eksempel krever anvendelse av ekstrem ultrafiolett litografi (EUV) bruk av ekstremt høye renhetsgasser som nitrogen og hydrogen.
Halvledergass fortsetter å øke med utviklingen av relaterte produkter drevet av flere og flere produkter blir avslørt, mens gassen også tilhører faren til faren, så produktene som brukes til gassdekompression, gassdeteksjonsprodukter og forhindrer gasslekkasjeprodukter har dukket opp som trykkregulatorer, gassventiler, gasstrykkmåler, gasslekkasjedetektor, etc. og deres roles som roles som roller som roller som roller som roller som roller som roller som roles som roller som roles som roles som deres roller som roles som deres roller som roles som roles som roles, osv.
Trykkregulatorer: Trykkregulatorer er enheter som brukes til å kontrollere gasstrykket. De består vanligvis av en regulatorventil og en trykksensor. Trykkregulatorer tar en høytrykksgassinngang og stabiliserer trykket på utgangsgassen ved å justere ventilen for å oppfylle spesifikke påføringskrav. Trykkregulatorer er mye brukt i områder som industri, produksjon og laboratorier, så vel som i halvlederindustrien, blant andre, for å sikre stabiliteten og sikkerheten til gassforsyningen.
Gassventiler: Gassventiler brukes til å kontrollere strømmen av gasser og for å lukke gasspassasjer. De har vanligvis en av/på -funksjon som åpner eller lukker gasstrømmen. Det er forskjellige typer gassventiler, inkludert manuelle ventiler, elektriske ventiler og pneumatiske ventiler. De er mye brukt i gasssystemer for å kontrollere strømmen, trykk og strømningshastigheten på gasser.
Gasstrykkmålere: Gasstrykkmålere brukes til å måle trykknivået til en gass. De er vanligvis installert på kritiske steder i gasssystemer for å overvåke trykkendringer og sikre at de er innenfor trygge grenser. Gasstrykkmålere er mye brukt i industri, produksjon og laboratorier, og halvlederindustrien har også vært involvert.
Gasslekkasjdetektorer: Gasslekkasjdetektorer brukes til å oppdage lekkasjer i gasssystemer. De oppdagerTilstedeværelsen av gasslekkasjer og høres en alarm slik at rettidig tiltak kan iverksettes for å forhindre lekkasjeulykker. Gasslekkasjedetektorer er mye brukt i industrielle, kjemiske, olje- og gassanvendelser, og halvlederindustrien har også vært involvert.
Post Time: Feb-20-2024