Utstyr for halegassbehandling kan håndtere gasser som brukes i etsningsprosesser og kjemiske dampavsetningsprosesser i halvleder-, flytende krystall- og solenergiindustrien, inkludert SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, NH2O og SOF6
Eksosgassbehandlingsmetode
I henhold til egenskapene til avgassbehandling, kan behandlingen deles inn i fire typer behandling:
1. Vannvaskingstype (behandling av etsende gasser)
2. Oksiderende type (håndtering av brennbare og giftige gasser)
3. Adsorpsjon (i henhold til typen adsorpsjonsmateriale for å håndtere den tilsvarende avgassen).
4. Forbrenningstype av plasma (alle typer avgasser kan behandles).
Hver type behandling har sine egne fordeler og ulemper så vel som søknadens omfang. Når behandlingsmetoden er vannvask, er utstyret billig og enkelt, og kan bare håndtere vannløselige gasser; Påføringsområdet for den elektriske vannvasketypen er høyere enn vannvasketypen, men driftskostnaden er høy; Den tørre typen har god behandlingseffektivitet, og er ikke anvendelig for gasstrømmen som er lett å bli tilstoppet eller strømmet.
Kjemikalier og deres biprodukter som vanligvis brukes i halvlederindustrien, kan kategoriseres i henhold til deres kjemiske egenskaper og deres forskjellige områder:
1. Brennbare gasser som SIH4H2, etc.
2. Giftige gasser som ASH3, PH3, etc.
3. Korrosive gasser som HF, HCl, etc.
4. drivhusgasser som CF4, NF3, etc.
Siden de ovennevnte fire gassene er skadelige for miljøet eller menneskekroppen, må du forhindre at den direkte utslippet er i atmosfæren, slik at den generelle halvlederplanten er installert med et stort sentralisert avgassbehandlingssystem, men dette systemet er bare vannskrubbende eksos, så dens anvendelse er begrenset til den langdistanse vannoppløselige gassen, og ikke kan takle. Derfor er det nødvendig å velge og samsvare med det tilsvarende avgassbehandlingsutstyret i henhold til gassegenskapene som er avledet fra hver prosess for å løse avgassproblemet på en liten måte. Ettersom arbeidsområdet for det meste er borte fra det sentrale avgassbehandlingssystemet, fører ofte gassegenskaper til krystallisering eller støvakkumulering i rørledningen, noe som resulterer i tilstopping av rørledningen som fører til gasslekkasje, og i alvorlige tilfeller, til og med forårsaker en eksplosjon, ikke kan sikre at nettstedets ansatte arbeidssikkerhet. Derfor må i arbeidsområdet konfigurere et lite avgassbehandlingsutstyr som er egnet for egenskapene til prosessgassen, for å redusere den stillestående avgassen i arbeidsområdet, for å sikre personellets sikkerhet.
Post Time: August-10-2023